Die Ursachen für einen Ausfall (engl. failure) können vielfältig sein. Sie reichen von einem Defekt (Fehler) über unzulässige Beanspruchung bis hin zu einer mutwilligen Zerstörung der Betrachtungseinheit. Nach dem Ausfall befindet sich die Betrachtungseinheit in einem Fehlzustand.
Ausfall ist ein Ereignis im Gegensatz zum Fehlzustand. Dieser bezeichnet den Zustand einer Betrachtungseinheit infolge eines Fehlers. In praxi werden die Termini „Ausfall“ und „Fehlzustand“ oft synonym verwendet; das ist unkorrekt. Beispielsweise kann ein Fehlzustand in der Messtechnik schon die Abweichung vom wahren Wert einer Messgröße sein.
